分析检查低温泵的安全阀是否正常

(1)在抽气体系操作时，体系的操作者应保证在作业过程中低温泵的热载荷不超越额定目标，肯富来水泵厂应格外留意泵榜首级吸附板上的热载荷大小。为了保证低温泵的热载荷不超越目标(特别是榜首级上的热负载)，应选用某种方式的障板来削减射到榜首级上的辐射用量。除了真空室壁邻近300 K 的辐射外，第一级还承受来自诸如镀膜室、加热灯丝或溅射放电等热辐射源。

在很多过程中热载荷可高达100到150W，此刻就简单超越功率为35 到40 W 的胀大机的容量。因而需求加某种方式的障板来削减射到榜首级上的辐射通量。最简略的方法是用反射的非冷却障板。假如还不行的话，则需求选用带冷却的人字形障板。这种障板能够用水冷却也能够用液氮来冷却。

(2)在低温泵体系中，有时为了削减外表出气，需求对作业室壁用液氮冷却。但此刻，在解释电离规读数时就应留意。即便室壁不冷却，规在低温体系内的方位很主要，格外是不是直接对着泵。由于电离规丈量的是气体密度而不是压强，若规内气体温度为T1，而体系内温度为T2，则电离规压强读数是Pi=P(T1/T2)1/2，这儿P 是体系内的压力。

(3) 泵真空体系时应格外留意，由于低温泵怕热辐射，当体系烘烤到450℃时，也许致使泵的温度增加到超越作业范围，此刻能够在泵和体系之间刺进水冷挡板作为热辐射屏蔽，但这会严重地减小抽速。能够把挡板制成烘烤时旋转到屏蔽方位，完毕后旋转回去的类似于蝶阀的构造。档板在屏蔽方位时，体系的抽速减小了75%。　

(4)操作中应经常查看低温泵的过压安全阀是不是正常，以避免安全阀失灵，对操作者和泵形成损害。

(5)不能用低温泵抽除有毒的或易爆及简单发作化学反响的危险气体。假如泵中凝聚着爆炸性气体，则在泵俄然升温很多气体放出时，它们会流到被抽暇的体系中去，此刻假如电离规在作业就会发作严重问题。

(6)泵在接连运转中，特别是在吸附剂被氦饱满时，应格外留意避免瞬时断电，由于即便是短时刻停电，氦气也会从吸附剂中释放出来，并且会把真空器壁上的很多热量传到抽气外表上去。这时即便体系现已粗抽到20 Pa 也解决不了疑问，由于那也不足以阻止接连的热传导景象发作。

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