真空泵运用于半导体制造业
在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。肯富来把它们分成两类:初级泵和高级真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为高级真空泵抽气(见图1).高级真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的高级和超高级真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的，意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。。
佛山肯富来水泵厂有限公司质量体系完善，检测手段先进，是华南地区第一家通过ISO9001质量体系认证的制泵企业，年生产能力超过50000台。公司主要产品有真空泵和离心泵等，产品质量稳定，达到国内或国际先进水平。真空泵和离心泵产品被认定为广东省名牌产品，广泛应用于电力、石油、化工、造纸、煤碳、轻工、供水、城建、消防、空调等行业。